超純水器(外文譯名 Ultra-pure water)，采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后*紫外殺菌處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理設(shè)備。

超純水的電阻率可大于18MΩ*cm，或接近18.3MΩ*cm極限值。

超純水機又稱做:超純水機、超純水設(shè)備、超純水儀、超純水系統(tǒng)、實驗室超純水器等。